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              臭氧產品
              

	    	

		
              

			

			
              

				
              首頁 > 實驗現場 > 臭氧氣體實驗 > 中科院-高濃度臭氧發生器用于ALD
              

              2024-06-13????來源：http://www.suntechcorp.cn/???瀏覽量：????
              
				
              
					
              
	中科院-高濃度臭氧發生器用于ALD
              

              
	
              

              
	該臭氧發生器濃度可達300mg/L，搭配3S-J5000臭氧檢測儀對濃度進行實時檢測。
              

              
	高濃度臭氧發生器在ALD（原子層沉積）中有廣泛的應用。ALD是一種薄膜沉積技術，通過周期性的氣相反應，一層一層地沉積原子尺度的薄膜。臭氧在ALD中通常用作氧化劑，與金屬有機前體反應，形成金屬氧化物薄膜。
              

              
	高濃度的臭氧發生器能夠提供更高的臭氧濃度，這對于快速且均勻地進行ALD過程至關重要。這種設備通常需要嚴格的控制和安全措施，以確保在工藝中保持穩定的氣相條件，從而獲得高質量的薄膜沉積。
              
   
					
               標簽:臭氧發生器(65)ALD(7)高濃度(12)
				
     
              
                     
                 
              
                  
 	
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